据“九峰山实验室”公众号发文,随着半导体器件尺寸不断缩小,传统互连材料如钨(W)、铜(Cu)在纳米尺度下面临电阻率急剧上升、电迁移失效等严峻挑战。金属钼(Mo)凭借优异的电学性能和高温稳定性,成为理想的替代方案。在纳米尺度下,Mo的电阻率增幅远低于钨和铜,且可同时用于互连层与栅极,适配先进制程。然而,高性能ALD(原子层沉积)钼薄膜的工艺窗口窄、控制难度高,如何在大规模量产中兼顾电阻率、均匀性与台阶覆盖率,一直是行业攻关的重点。九峰山实验室化合物半导体中试平台的工艺团队,通过与国产ALD设备厂商深度协同,成功实现了ALD钼工艺的新突破:以稳定高效的MoCl?O?原料为前驱体,在400℃条件下制备出高性能金属钼薄膜。这是国内首次基于8英寸平台完成该工艺的开发。在3DNAND制造中,该技术的高台阶覆盖率可完美适配垂直沟道结构,助力提升存储容量与读写速度。在7纳米及以下逻辑芯片中,低电阻率可直接降低RC延迟,带来运算速度提升与功耗下降;在DRAM制造中,高均匀性和致密结构则有助于提高器件稳定性与使用寿命。
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连日来,河南多地持续高温出现不同程度旱情,引发关注。目前河南情况如何?当地采取了哪些抗旱措施?国家对抗旱又有何举措?一文速览。
北京、上海、广州是3大全方位门户复合型功能的国际航空枢纽,成都、深圳、重庆、昆明、西安、乌鲁木齐、哈尔滨是7大区位门户复合型功能的国际航空枢纽。
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“台湾民意基金会”今日(6月18日)公布最新民调,台湾地区领导人赖清德声望为48.2%,相较上个月重挫 9.8 个百分点。该基金会董事长游盈隆表示,在台湾,一个百分点代表 19.5 万人,10 个百分点代表近 200 万人,上任不到一个月,流失近200万人支持,是一个严重的警讯。
据携程数据,今年以来,澳大利亚位列中国入境游第5大客源国,入境旅游订单同比增长155%,澳大利亚到中国的航班数量同比增幅超过220%。澳大利亚游客来中国的热门目的地包括上海、广州、北京、成都、深圳、杭州、重庆、厦门、南京和西安。在即将到来的暑假,澳大利亚-中国的机票均价较去年同期降低近三成。
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6月21日,中央纪委国家监委发布消息,自然资源部原党组成员,中国地质调查局原党组书记、局长钟自然被开除党籍,涉嫌受贿、故意泄露国家秘密犯罪问题移送检察机关依法审查起诉。
纪宁说:“欧美国家的网球市场已逐渐进入饱和阶段,中国被认为可能带来新的爆发性增长点。”他认为,在中国这个网球新兴市场,应更充分地挖掘体育明星的商业价值。“这有利于全面释放中国体育经济的增长潜力。”
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家住北京朝阳区的资深网球爱好者张先生在接受《环球时报》记者采访时感慨,“原来就不好预约的网球场,在郑钦文夺冠后,更不好约了。”他说:“我经常打球的球馆最早预约时间是提前一周的早上七点,但是现在到点就秒没,手一慢就显示预约完毕。”














